第290章 高卢国际工业展览会上的尴尬(1/3)
高卢,国际工业展览会。
展厅很大,典雅豪华,就像是雄伟的宫殿一样。
在这展厅之中,一台来自东方的光刻机,吸引了所有人的目光。
“各位,这是我们东方华清大学研制的自动对准分步投影式光刻机,使用它可以实现最细08微米的线宽加工……”
展台前面,一名五十来岁的老干部,满脸骄傲地给一众西方人介绍。这可是国际工业的盛会,东方还是第一次参加,能拿得出手的东西可不多,但是,这光刻机绝对是其中之一!
现在,把这个展示出来,可以展示东方工业的风采,这可是个向全世界介绍东方的好机会,绝对不能有闪失!
“请问,这个自动对准是什么意思?”很快,一名西方专家就闻声而来,开口询问。
“这个是指光刻机能够自动调整硅片和掩膜版之间的对焦,这样可以保证图案能够精确复刻到硅片上。”老干部信心十足地介绍,这些都是提前背过的,难不倒他!
“请问,这是怎么自动调整的?”
“这个嘛……”老干部一时间语塞了。
这个没背过!
“它使用的是电机调整,还是液压调整?”
“对焦的原理是什么,它怎么知道已经对焦成功的?”
一问三不知!
老干部赶紧看向身后的几名一起出国的人员,他们纷纷低头,他们也不知道啊!
设备是华清大学搞的,出国名额有限,所以就没有分配给这些设备的研发人员,现在是一问三不知啊!显然,那些外国人已经怀疑了:你们该不会是吹牛吧?
“请问,这个分步投影……”
这个背过!老干部开口:“这是分布曝光的方式,每次只曝光一个小区域,然后移动硅片到下一个区域继续曝光,直至整个晶圆上的电路图案全部复刻上去,这样做的好处是可以让光刻机处理大尺寸晶圆,四英寸,六英寸,甚至八英寸的都可以……”
“那每次曝光的区域是多大?”
“曝光之后的移动,如何保证边缘部分的重合?”
“如果一次不够,是否可以多次曝光?”
一个个专业问题提出来,老干部
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