第1203章 金乌计划?鈢323!材料学教父的含金量!(6/9)

但问题在于,这个波段的光源几乎会被所有材料吸收! 透射式光学系统无法工作,反射式系统的效率又非常低下,更不用说光刻胶对软X射线的敏感度问题了。 我承认星源科技在半导体领域的技术实力和行业地位,但这并不意味著它可以用夸大的宣传来误导公众。」 他的质疑,在半导体圈内引起了广泛共鸣。 东京大学的半导体研究团队则从材料学角度提出了质疑。 「软X射线的穿透力太强,会对矽晶圆造成辐射损伤,影响器件的可靠性。」 「就算勉强制造出晶片,良品率也将低到令人发指的程度!」 就连国内,也有不少专家持怀疑态度。 质疑声在网络上越演越烈。 一篇名为《为什么软X射线光刻机是伪命题》的技术分析文章,在逼乎和Reddit上同时登上了热榜前三。 文章作者是一个在湾积电工作了十五年的资深工程师,他在文中详细阐述了软X射线光刻面临的三大技术障碍。 第一,光源问题。 软X射线通常由同步辐射或雷射等离子体产生,但无论哪种方式,功率都远远不够。 就拿EUV光刻机来说,使用的是13.5纳米的极紫外光,光源功率高达数十千瓦。 而软X射线波长更短、光子能量更高,想要实现生产所需的曝光效率,除了更亮、更稳定的光源,还得解决能量转换效率、散热和连续运行等一系列工程难题。 第二,光学系统问题。 软X射线会被材料吸收,折射透镜没法运作。 唯一可行的方案是多层膜反射镜,但世界最先进的钼矽多层膜,在软X射线波段的反射率也仅有70%。 而一台光刻机里有几十面反射镜,每次反射损失30%的光强,就会造成到达晶圆的光强连初始值的1%都不到。 第三,掩模版问题。 软X射线无法穿透实体掩模版,最佳方案是使用反射式掩模。 但反射式掩模的制造难度太高了,任何微小的缺陷都会在晶圆上被放大,而且掩模版本身也会吸收大量光能,导致热变形。 不怪他们怀疑! 在既有认知和技术体系下,软X射线确实很难被认为能够成为商用光刻机的光源。 这就像一个人宣称自己骑著自行车横渡太平洋,在没有亲眼见证之前,谁会相信? 因为打破了他们对现实的固有认知! 而人,只会相信自己相信的! 除此之外,100皮米级的晶片代表著高能耗
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