第231章 历史性时刻，命名逐光【二合一求订阅】(3/8)

成功验证了核心光源系统，你就没遗憾了，起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。」贺鹏涛笑著接过话茬，跟在丁顺安后面补充了两句。

丁顺安附和道：「有徐总师在，这是迟早的事。」

说完两人转头看向徐铭。

「徐总师，请允许我代表所有光机所人员，由衷向你表示感谢。」贺鹏涛最先开口道：「没有你的物理理论，我们根本不可能这么快，便攻克稳定功率的极紫外光源。」

「仅这一项理论成果，就起码让咱们少走了几年，甚至十几年的弯路。」丁顺安也没沉默。

面对两位院士的如此称赞，徐铭反应更快，连忙出声回应。

「两位院士言重了，既然这个担子交给我，那我自然会尽最大努力做好。」

「何况后面还有更重要的工作，需要我们大家完成。」

把热烈氛围推向高峰。

接下来的时间，实验室交给了潘耀负责。

继续进行光源实验，好记录更加详细的数据，用于之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。

徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士，来到办公室安排后续工作。

「下一步我们微电子装备，就会正式把新的极紫外光源技术，应用到光刻机的核心光源系统上，另外双工件台控制系统和计量检测系统，也都在同步的攻坚中，这些年集团的研究可不是一点成果没有。」

办公室内丁顺安首先发言，在讲到最后一句时，能感受到话语中的自信。

春城光机所擅长光刻机的核心光源系统，微电子装备却是主攻其他部件技术O

尤其作为国产光刻机主力研发团队，肯定在部分领域也有著独到之处，甚至并不落后海外技术多少。

如今最困难的极紫外光源被顺利解决，就好比在两截道路中间的大山中，打通了一条可通行的隧道，当车辆全速行驶起来，距离终点站又岂会远。

贺鹏涛虽来自春城光机所，但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。

尤其现在还进行了资源整合。

闻言也当即讲出自己的看法和决心。

「眼下我们有了极紫外光源，并且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术，根据国内技术整体评估，我看最多两年时间，就能成功组装出首台国产极紫外光刻机。」

「阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机，恐怕也会在两三年时间内发布。」丁顺安想到什么接过话茬补充。

贺鹏涛笑呵呵回复句。

「那就刚好比一比，看看谁的极紫
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