第242章 行业地震，海外公司懵圈了(3/5)
前往机房，路上的时候，才简单聊起最近的热点事件。
「徐总师的这篇论文，不但在学界引起很大地震，似乎连海外对璇玑系统的质疑声音都少很多。」
「这对我们之后正式推出逐光是好事。」
无论贺鹏涛还是丁顺安，虽平时比较忙碌，可面对这种全球都在讨论的事，想要不知道可不是一般的困难。
尽管早就知道徐铭的天赋和实力，看到新闻仍旧不可避免的倒吸一口凉气。
明白徐铭在学界的影响力，远超他们的预料。
徐铭脚上步伐不停，听著两人的话，对他们口中的消息丝毫不意外。
他这几天也没少看到，海外讨论徐氏变换，除涉及到黎曼猜想外，剩下探讨最多且意见不统的，就是认为徐氏变换同璇玑系统有关系。
在这种情况下，凭借徐氏变换的权威性，海外自然不好继续去质疑璇玑系统。
毕竟以前璇玑系统是没有数学理论背书，眼下却相当于抱上了一条大粗腿，整个局面自然是不能同日而语。
而他也已经让华关科技那边采取行动，很快就会由官方认证徐氏变换，好在逐光极紫外光刻机发布之前，彻底让璇玑系统的技术领先性正名。
届时就该轮到海外三大EDA公司鸡飞狗跳。
念头停留在这里，他短暂驻足脚步，回头迎上两位院士的目光应和上一句。
「在绝对的理论技术差距面前，他们能够做的，也就是拙略不堪的抹黑质疑了。」
说完几人爽朗笑出声来，同时加快了脚上速度。
国产光刻机的物镜系统相对来说是弱项，比著有著上帝之眼称号的蔡司，在技术上面确实要落后上不少，这也是国产光刻机工艺精度无法突破的一项原因。
不过徐铭研发出的全新极紫外光源，放弃了传统意义上的轰击锡滴技术，并且光源的纯度也足够的高。
如此纵使国产物镜反射率稍低，在几乎全是纯净的极紫外光下，真正被吸收产生有害热量的无效光能量，基本上可以说是微乎其微，相当于用光源的光谱纯度来抵消反射膜系设计的复杂性不足。
再加上新光源转换效率高，且废热集中在可主动冷却的基底上，传递到物镜的热负荷降低了一个数量级以上。
就像一个待在空调房的人，而不是待在炼钢炉旁。
以至于系统热稳定性主要靠光源保障，而不是物镜的后天补偿。
通过这种方式，既解决了国产物镜问题，又能加快逐光极紫外光刻机的研发速度
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