第162章 老法师(2/4)

上。 周德明原本准备转身走人的动作，瞬间定住了。 他望着桌上那块东西。 车间里昏黄的灯光打在晶体表面，折射出一种冷冽的碳化硅特有的光泽。 周德明扔掉手里的脏抹布。他扑了过去的。 他连手上的油污都顾不上了，双手捧起那块晶棒。动作小心翼翼，像捧着一块绝世珍宝，又像捧着一个易碎的婴儿。 他几乎贴在了晶棒上。眼睛在那道细微的裂纹上反复看来看去。 “6英寸碳化硅单晶”周德明喃喃自语，声音都在发颤，“这长晶的纹路这透光度” 他猛地抬起头，那双原本浑浊的眼睛里，爆发耀眼的光芒。 “微管缺陷率多少？！”他几乎是吼出来的。 “小于0.1个/平方厘米。”陈启双手插在兜里，语气平淡，“国家级半导体材料检测中心出的报告。设备是华科改造的国产外延炉。” “不可能！”周德明，“国内的设备怎么可能长出这种品质的晶棒？！哪怕是日本那几家巨头，用最顶级的进口炉子，商用标准也只能卡在小于1！你这是在哪个实验室里烧了几百次才碰巧烧出来的一个残次品吧？！” “不是碰巧。” 陈启看着他，“这是我们一期量产线上，几个炉子同时开，长出来的第一批货。” 周德明愣住了。 他低下头，再次看向手里那根晶棒。粗糙的手指抚摸着晶棒中间那道裂纹。 “切片进给速度快了至少百分之五。张力控制不稳。”周德明干巴巴地说，一针见血，“热场在生长中段，氩气流量有极微小的波动，导致热应力没释放干净。所以裂了。” 陈启在心里暗暗点头。 神了。 系统给的答案里，确实标注了生长中段必须动态调整氩气流量。陶安然没做到这一点，导致了裂纹。 这老头光靠看和摸，就能把问题诊断得八九不离十。 A+的量产能力，名不虚传。 “你眼光很毒。”陈启说，“所以第一批测试，良率只有66%。” “66%就是垃圾！”周德明把晶棒重重地放在桌上，“在半导体量产线里，低于85%的良率，就是在烧钱！你们那个技术负责人是个白痴吗？连最基本的SOP都不懂？！” “她是个研发天才，但她确实不懂量产的纪律。” 陈启直视着周德明的眼睛。 “所以我来找你。” “我要把这66%的良率，砸到95%以上。我要让这套国产设备跑出来的碳化硅晶圆，把
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