第29章 大家好,才是真的好!(3/4)

自然会接触到。”

林渊一句话把光源的话题收了个干净,干脆利落。

然后,他的话锋猛然一偏。

“我今天主要想跟大家聊的,是我对另外两大件的研究。”

此话一出,会议室的气氛一下子绷紧起来。

这才是重头戏。

所有人都竖起了耳朵,连呼吸都下意识地放缓了。

“先说物镜。”

“传统光刻机的物镜系统,大家都清楚,本质上就是一套极端复杂的折射光学透镜组。”

“几十块甚至上百块超高精度的玻璃透镜,层层堆叠,去校正像差、色差、还有各种杂七杂八的光学畸变。”

“一块透镜的面形精度要求做到亚纳米级,然后再把几十块这样的透镜叠起来——这条路线的工程难度,在座的各位比我更有发言权。”

这话说得平淡,但在座搞精密仪器的人,脸上的表情都沉了下去。

因为这正是他们多年来啃不动的硬骨头。

不是不会设计。

是我们的工业基础,根本加工不出来!

一块透镜差零点几个纳米,几十块叠在一起,误差累积,整套物镜系统直接报废。

“所以,我的研究方向不走这条路。”

林渊的话干脆到了极点。

“我研究的是——消色差超构透镜。”

消色差超构透镜?

这个概念并不算全新,学术圈里有零星的前沿论文讨论过。

但那些讨论,无一例外停留在最基础的理论探索阶段,离实际应用隔着十万八千里。

而林渊现在说的是,他要把这个东西,用在光刻机的物镜系统上。

精密仪器所的老所长把眼镜重新架回鼻梁上,嘴唇动了一下,但没出声。

他身旁那个中年骨干已经拿起了笔,手悬在笔记本上,却一个字都写不出来。

因为林渊根本没给他们反应的时间。

他直接翻篇了。

“再说双工件台。”

他的话头转得极快。

会议室里,自动化控制所的那个精瘦中年人,身子不由自主地前倾了半寸。

“传统的双工件台系统,用的是气浮轴承加线性电机驱动,位移测量靠激光干涉仪。”

“这套方案已经很成熟了,但也已经快碰到物理极限了。”

“定位精度要继续往下压,靠改良现有架构,很难。”

他说得很快,三两句把背景交代完,然后话锋一收。

“因此我对工件台提出的研究方向,是磁悬浮平面电机,配合原子干涉仪绝对定位。”

又是几个专有名词,干净利落地扔了出来。
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