第42章 土光刻机制成(1/3)

拆装的主力最终还是落到卓邵文身上。 沈永健自己手上功夫不如对方稳，包括曹文三在内的两位平日在车间的技术员也一样。 卓邵文这位副研究员的确不止理论扎实，动手能力也是一流。 只不过这种精密仪器，尤其是这年代的老式精密仪器，完好的拆卸都不容易。 直到下午三点左右，显微镜才拆得差不多。 “今天就到这儿吧，明早再继续。” … “沈工，不继续安装么？” 卓邵文眼下声音倒是洪亮，只是双眼红血丝愈加多，而且都隐隐开始外凸。 沈永健虽然心中对这项目挺上心，但还没想要逼得这么紧。 “算了，今天就先到这儿。” “绍文同志，我知道你能继续坚持，只是接下来的组装任务会更加艰巨，需要绝对集中的注意力。” “你先回去养足精神，今天就先到这里。” 眼见沈永健态度坚决，卓邵文虽然心痒却也不好坚持。 直至车间的大门锁上，也只得回去休息。 曹文三和曲崇二人同样听他安排，安心早下班回去。 第二日一早，三人再度回车间后，状态立刻不一样了。 卓邵文脸色虽然憔悴，但双眼红血丝褪去大半，看着才正常得多。 至于曹文三两人年纪小，一夜睡足后精神头极佳。 开始正式组装起土法的“光刻机”。 这一过程，一连持续了三天。 事实上整个组装用了两天，最后一天全用来进行校准与调试。 也全靠了沈永健眼下极强的数学能力，哪怕拆装的动手能力不及卓邵文，但在设备的调校上，他对角度、距离、光路计算的精确把控，让这台“拼凑”出来的设备精度达到了理论设计的极限。 “这算成了吧！？沈工？” 随着卓邵文一声压抑着激动、带着微微颤抖的低呼，简易的紫外曝光灯亮起。 透过那精心倒置并调试过的显微镜物镜，在涂有临时调配光刻胶的多晶硅片上投射出清晰的图案边缘。 沈永健此刻心情也不由得激动，点了点头回应道。 “成了，初步研制是够用了。” 身前的这台由显微镜重新拆装后的“土光刻机”，虽然样子难看了些 整台机器零件颜色各异，但用是足够用了。 哪怕只是极其初步的验证，也标志着这台光刻机核心部分已搭建完成，具备了进行光刻实验的基础能力！ 曹文三和曲崇瞪大了眼睛，他二人当下也松了口气。 事实上，这次设备的制造他
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