第305章 光刻机即将突破(1/3)

而在新能源汽车这条明线高歌猛进的同时，天宇集团在另一条关乎国家科技命脉的暗线上，也迎来了最关键的节点。 这条暗线，就是光刻机。 时间倒退回几个月前，当长天光学的深紫外光刻物镜、天卓精密的超精密双工作台、以及天虹激光的193nm准分子激光光源相继取得关键性突破时，许晨并没有选择让陈立峰私下带着东西去找上微电子。 光刻机是一个极其庞大且复杂的系统工程，被称为人类工业皇冠上的明珠。 它包含了几万个精密零部件，哪怕天宇把最核心的“三大件”造出来了，想要组装成一台真正能用的整机，也需要无数顶级的辅助零部件和极高的系统集成经验。 这种国之重器，仅靠一家私营企业去单打独斗是不现实的。 许晨的策略非常清晰。他让陈立峰直接带着三大件的详细测试数据，秘密拜访了南河省政府的一把手，彻底交了底。 面对这份足以捅破天的数据，南河省高层极其重视。 南河省政府直接动用最高级别的保密专线，联系了帝都方面专门负责国家光刻机重大专项的高层大佬。 不出三天，一支由多名国家级院士和半导体顶级专家组成的联合验证组，秘密飞抵郑州。 在天宇的极高保密级别实验室内，专家组对三大核心部件进行了长达一周、极其严苛的物理验证和数据核对。 当最终的验证报告摆在桌面上时，整个国家专项组的高层彻底震动了。 谁也没有想到，光刻机的核心三大件，竟然被一家做新能源汽车的民营企业，用庞大的资金和灵活的资本运作手段，在民间和官方的团队中砸出了奇迹。 物镜系统NA值达到0.85、双工作台定位精度1.5纳米、准分子激光器连续稳定输出。 这三大件，不仅完全达到了65纳米干式DUV光刻机的物理要求，甚至在某些单项指标上逼近了国际第一梯队！ 验证通过后，国家机器立刻以最高效率运转了起来。 上面直接下达了最高指令，由国内唯一拥有光刻机整机集成经验的“国家队”——上微电子（SMEE）牵头，全面启动65纳米国产干式光刻机的整机制造。 国家层面全力配合。光刻机不仅仅需要三大件，还需要极其精密的流体控制阀门、高纯度气体管线、绝对减震的空气弹簧悬浮底座以及高端光刻胶的涂布设备。 经过这么多年的国家投入，国内的供应链其实并非一
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